시흥스마트캠퍼스 마스터플랜은 장기적 관점에서의 단계별 개발 계획 수립을 목표로 한다. 우선추진프로그램과 주요 인프라 시설을 포함하는 1단계 개발에서 캠퍼스 전체 마스터플랜이 완성되는 3단계까지 단계별 개발계획을 구상하며, 각 단계에서 발생하는 유휴부지의 효과적인 활용방안을 수립하였다. Living, Campus, R&D로 크게 구분되는 토지이용계획은 부지를 가로지르는 그린밴드와 친환경적 수공간 및 보행로로 연결된다. 계획의 방향성과 설립목적의 달성을 위하여 영역별 성격을 부여, 영역별 다양성을 확보하고 각 공간의 역할을 부여하여 공간 간의 네트워크를 설정, 단지의 조화로운 공간계획을 실현한다.